技术原理:该产品利用微波加热技术,通过微波能激发等离子体,导入气相成分,进行微波等离子体气相沉淀,在催化剂基底上生成石墨烯类碳材料产品,适用于高纯度碳材料制备;同时本产品具有高温功能,可以实现最高1200˚C的微波高温环境,对碳源进行高温分解,实现非等离子状态下的碳材生产工艺。
产品详情
1、采用卧式高温管道式腔体结构,气路为左进右出,中间设置等离子观察口;
2、左侧设置2路混气气氛结构;
3、设置防漏波监视口,等离子激发状态,观察内部等离子体反应情况;
4、采用PLC程序控制模式,具有更智能的工艺控制模式。
技术参数
产品类型
微波等离子体炉
型号 / 品名
MKP-T2HA 微波等离子体炉
微波参数
功率
0~1600W / 2450MHz 无级可调
微波腔体
材质 / 密封
不锈钢一体焊接成型,真空密封,极限真空-0.099MPa
等离子腔体
反应器
卧式石英管结构,微波等离子产生区(40×400mm)
观察口
单观察口
气流控制
系统全密封,采用真空结构,进出气口,2路气氛
操控系统
温控
~1700℃红外测温
控制
PLC智能控制,彩色触摸屏人机对话操作
数据
支持预制多个方案,多段记忆,数据导出;时间、温度曲线显示,即时监控
安装尺寸
宽*深*高
1500×800×800mm,台式放置